[发明专利]一种石墨舟酸洗液及其制备方法以及利用其的石墨舟清洗方法有效
| 申请号： | 202111002214.9 | 申请日： | 2021-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN113736571B | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 郑正明;马菁;何悦 | 申请（专利权）人： | 横店集团东磁股份有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/30 | 分类号： | C11D1/30;C11D1/72;C11D1/92;C11D3/04;B08B3/02;B08B3/04;B08B3/08;B08B3/10 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 刘二艳 |
| 地址： | 322118 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种石墨舟酸洗液及其制备方法以及利用其的石墨舟清洗方法，所述石墨舟酸洗液包括氢氟酸、表面活性剂和纯水，可进一步加入盐酸以去除金属离子，待清洗的石墨舟依次经过石墨舟酸洗液浸泡酸洗、纯水浸泡清洗、干燥和预处理得到洁净石墨舟。本发明所述石墨舟酸洗液及其制备方法以及利用其的石墨舟清洗方法能有效去除石墨舟表面的杂质，提高了石墨舟表面的洁净度，降低因石墨舟清洗不到位而导致的硅片返工比例；同时能够延长石墨舟的使用寿命，降低石墨舟的损耗；所述石墨舟酸洗液中表面活性剂的加入起到了促进反应的作用，缩短了清洗时间；且所述石墨舟清洗方法工艺操作简单，清洗成本较低，适用性广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 酸洗 及其 制备 方法 以及 利用 清洗 | ||
【主权项】：
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