[发明专利]一种身管抗烧蚀磨损涂层的制备方法在审
| 申请号： | 202110997201.3 | 申请日： | 2021-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN113913763A | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 祝土富;沈丽茹;陈美艳;李民久;王丁 | 申请（专利权）人： | 核工业西南物理研究院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/32 |
| 代理公司： | 核工业专利中心 11007 | 代理人： | 陈丽丽 |
| 地址： | 610041 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于薄膜材料技术领域，具体公开了一种身管抗烧蚀磨损涂层的制备方法，该方法包括步骤(1)、身管超声清洗；步骤(2)、身管自辉光溅射清洗；步骤(3)、采用高功率脉冲磁控溅射或阴极弧沉积(Ta/TaN)n梯度涂层，其中n＝1，2，……，30。本发明方法制备的(Ta/TaN)n身管涂层具有膜层薄、硬度高、附着力好、抗烧蚀磨损性能好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 身管抗烧蚀 磨损 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
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