[发明专利]电源组件、等离子体浸没离子注入设备及其使用方法有效
| 申请号： | 202110996425.2 | 申请日： | 2021-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN113727554B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 王景远;韦刚;田丰;陈星;葛军;张郢;赵晋荣 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H05K5/02 | 分类号： | H05K5/02;H05K7/02;H01J37/248;H01J37/32;H01L21/265;C30B31/04 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 施敬勃 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开一种电源组件、等离子体浸没离子注入设备及其使用方法，所述电源组件包括壳体、第一电源、第二电源和输出接口，其中：所述第一电源和所述第二电源集成设置于所述壳体内，所述输出接口设置于所述壳体上；所述第一电源与所述输出接口连接，所述第二电源与所述输出接口连接；所述第一电源用于输出第一直流电压信号，所述第二电源用于输出脉冲电压信号，所述输出接口用于输出所述第一直流电压信号、所述脉冲电压信号或叠加信号，所述叠加信号由所述第一直流电压信号和所述脉冲电压信号叠加形成。上述方案能够解决相关技术中多电源结构布局会产生较强的寄生电感电容而影响工艺质量的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 电源 组件 等离子体 浸没 离子 注入 设备 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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