[发明专利]一种半球谐振子驻波漂移的全局测量方法及系统有效
| 申请号： | 202110996240.1 | 申请日： | 2021-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN113686360B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 王兴;吉超;田进寿;陈效真;尹飞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 王少文 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半球谐振子驻波漂移的全局测量方法及系统,主要解决传统激光多普勒测振仪只能单点测频、无法实现制造误差有效补偿以及测量中条纹相机读取信息效率低的技术难题。该测量方法为：激光器发出线激光并扩束为面平行光；面平行光被分成两路，其中一路通过凸透镜的曲率调控，垂直入射至半球谐振子表面，并被半球谐振子反射形成反射信号；另一路作为相干信号，与反射信号汇聚并被收束，形成拍频信号；拍频信号进入条纹相机内部，并通过条纹相机超高速连续的成像方法，实现半球谐振子驻波漂移的全局测量。本发明可一次完成半球谐振子的全局测量，快速精确实现驻波漂移过程的建模，在半球谐振子加工、检测等领域具有重要应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半球 谐振子 驻波 漂移 全局 测量方法 系统 | ||
【主权项】：
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