[发明专利]一种材料表面粗糙度的确定方法及系统

摘要

本发明涉及一种材料表面粗糙度的确定方法及系统。该方法包括获取材料集合；利用扫描电子显微镜对所述材料集合中的材料进行扫描，确定二次电子像集合；对所述二次电子像集合进行灰度处理，得到灰度图像集合；根据灰度图像集合每一灰度图像对应的灰度值与对应的表面粗糙度确定灰度值与表面粗糙度的对应关系曲线；获取待确定的材料；利用扫描电子显微镜对待确定的材料进行扫描，确定二次电子像；并对二次电子像进行灰度处理；根据灰度处理后的二次电子像的灰度值以及灰度值与表面粗糙度的对应关系曲线确定待确定的材料的表面粗糙度。本发明在真空条件下进行非接触式测量，样品不易受污染且无损伤，并具有易精确控制、工艺简单的优点。