[发明专利]一种玻璃基板清洗装置有效
| 申请号： | 202110983037.0 | 申请日： | 2021-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN113798298B | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 曹海勇;葛树宝;闫冬成;杨园园 | 申请（专利权）人： | 河北光兴半导体技术有限公司;东旭科技集团有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/04 | 分类号： | B08B11/04;B08B3/04;B08B3/12;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 刘小峰;陈黎明 |
| 地址： | 050035 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种玻璃基板清洗装置。该装置包括机架、清洗槽、传送机构、升降机构和超声波机构。清洗槽包括安装在机架上的底板和围绕底板的周边设置的侧板。传送机构设置在由底板和侧板围成的空间内，传送机构包括平行且间隔设置的多个下传输轴，下传输轴在传输轴的轴线方向上相对于水平面倾斜设置。升降机构位于底板下方，升降机构包括能够升高和降低的升降杆，升降杆延伸穿过底板并且用于支撑传送机构。超声波机构包括超声波发生装置和超声波震板，超声波震板设置在底板和下传输轴之间，超声波发生装置用于驱动超声波震板。该装置将倾斜输送与超声波清洗技术相结合，既能最大限度地减少玻璃表面存水，又能高效去除玻璃表面的残胶。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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