[发明专利]一种玻璃基板清洗装置

权利要求书

1.一种玻璃基板清洗装置，其特征在于，包括：

机架；

清洗槽，所述清洗槽包括固定安装在所述机架上的底板和围绕所述底板的周边设置的多个侧板，所述底板设有开口；

传送机构，所述传送机构设置在由所述底板和所述侧板围成的空间内，所述传送机构包括底座以及平行且间隔设置的多个下传输轴，所述下传输轴的轴线方向相对于水平面倾斜，所述传送机构还包括上压轴，所述上压轴的安装位置高于所述下传输轴的安装位置，所述底座包括第一支架和第二支架；

升降机构，所述升降机构位于所述底板下方，所述升降机构包括能够升高和降低的升降杆，所述升降杆延伸穿过所述底板并且用于支撑所述传送机构，所述升降杆延伸穿过所述底板的开口，所述升降机构包括自动平升机构和顶升驱动器，所述自动平升机构为四点同步升降机构并且包括所述升降杆；以及

超声波机构，所述超声波机构包括超声波发生装置和超声波震板，所述超声波震板设置在所述底板和所述下传输轴之间，所述超声波发生装置用于驱动所述超声波震板，其中所述超声波震板安装在所述升降杆顶端，所述第二支架支撑在所述超声波震板上；

位于所述底板下方的升降气缸，所述升降气缸的输出端安装在所述超声波震板的与第二支架相对的一端，所述第一支架设置在所述升降气缸的所述输出端上，所述升降气缸驱动所述第一支架的位置升高。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述传送机构还包括传动齿轮，所述第一支架和所述第二支架包括安装孔，所述下传输轴延伸穿过所述安装孔，所述传动齿轮安装在所述下传输轴的端部。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，每个所述下传输轴沿其轴线方向间隔地设置有多个输送轮。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述输送轮是套在所述下传输轴上的O型圈。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述下传输轴在传输轴的轴线方向上相对于水平面倾斜5-10°。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述第一支架和所述第二支架的顶部上方设有轴承座，所述上压轴利用轴承支撑在所述轴承座上。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括传感器和控制器，所述传感器位于远离基板进入的一侧，所述传感器用于检测对应位置处是否存在玻璃基板并且将检测信号发送至所述控制器。