[发明专利]一种玻璃基板清洗装置有效

专利信息
申请号: 202110983037.0 申请日: 2021-08-25
公开(公告)号: CN113798298B 公开(公告)日: 2023-03-17
发明(设计)人: 曹海勇;葛树宝;闫冬成;杨园园 申请(专利权)人: 河北光兴半导体技术有限公司;东旭科技集团有限公司
主分类号: B08B11/04 分类号: B08B11/04;B08B3/04;B08B3/12;B08B13/00
代理公司: 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 代理人: 刘小峰;陈黎明
地址: 050035 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 一种 玻璃 清洗 装置
【说明书】:

本公开提供了一种玻璃基板清洗装置。该装置包括机架、清洗槽、传送机构、升降机构和超声波机构。清洗槽包括安装在机架上的底板和围绕底板的周边设置的侧板。传送机构设置在由底板和侧板围成的空间内,传送机构包括平行且间隔设置的多个下传输轴,下传输轴在传输轴的轴线方向上相对于水平面倾斜设置。升降机构位于底板下方,升降机构包括能够升高和降低的升降杆,升降杆延伸穿过底板并且用于支撑传送机构。超声波机构包括超声波发生装置和超声波震板,超声波震板设置在底板和下传输轴之间,超声波发生装置用于驱动超声波震板。该装置将倾斜输送与超声波清洗技术相结合,既能最大限度地减少玻璃表面存水,又能高效去除玻璃表面的残胶。

技术领域

本公开涉及平板超薄玻璃生产领域,更具体地涉及一种玻璃基板清洗装置。

背景技术

近年来,玻璃基板贴合技术逐渐兴起,但是贴合所使用的胶材会残存在玻璃表面。在后续生产过程中,需要将残胶清洗干净。

在玻璃基板自动化生产线中,清洗生产线多以水平传送为主。其中,超声波清洗机是其中核心的工艺设备,主要针对玻璃表面油污能起到很好的清洗效果。随着近几年高世代玻璃基板的迅速应用,清洗机设备也应升级换代。现有的清洗设备中的水平传送机构使得玻璃表面存水,不利于废水的排放。

因此,有必要对玻璃基板的清洗设备进行改进,研发一种既能有效去除玻璃表面残胶又能减少玻璃表面存水的清洗装置。

发明内容

本公开的目的在于克服上述现有技术中存在的问题,提供一种玻璃基板清洗装置,该装置将倾斜输送与超声波清洗技术相结合,既能最大限度地减少玻璃表面存水,又能高效去除玻璃表面的残胶。

根据本公开的一方面,提供一种玻璃基板清洗装置,该装置包括:

机架;

清洗槽,清洗槽包括固定安装在机架上的底板和围绕底板的周边设置的多个侧板;

传送机构,传送机构设置在由底板和侧板围成的空间内,传送机构包括平行且间隔设置的多个下传输轴,下传输轴的轴线方向相对于水平面倾斜设置;

升降机构,升降机构位于底板下方,升降机构包括能够升高和降低的升降杆,升降杆延伸穿过底板并且用于支撑传送机构;以及

超声波机构,超声波机构包括超声波发生装置和超声波震板,超声波震板设置在底板和下传输轴之间,超声波发生装置用于驱动超声波震板。

根据本公开的一个实施例,传送机构还包括底座,底座包括第一支架和第二支架,第一支架和第二支架设置在下传输轴的两端。

根据本公开的一个实施例,传送机构还包括传动齿轮,第一支架和第二支架包括安装孔,下传输轴延伸穿过安装孔,传动齿轮安装在下传输轴的端部。

根据本公开的一个实施例,每个下传输轴沿其轴线方向间隔地设置有多个输送轮。

根据本公开的一个实施例,输送轮是套在下传输轴上的O型圈。

根据本公开的一个实施例,下传输轴在传输轴的轴线方向上相对于水平面倾斜5-10°。

根据本公开的一个实施例,传送机构还包括上压轴,上压轴的安装位置高于下传输轴的安装位置。

根据本公开的一个实施例,第一支架和第二支架的顶部上方设有轴承座,上压轴利用轴承支撑在轴承座上。

根据本公开的一个实施例,装置还包括传感器和控制器,传感器位于远离基板进入的一侧,传感器用于检测对应位置处是否存在玻璃基板并且将检测信号发送至控制器。

根据本公开的一个实施例,升降机构包括自动平升机构和顶升驱动器,自动平升机构为四点同步升降机构并且包括升降杆。

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