[发明专利]标定数据生成方法、装置及标定数据生成系统在审
| 申请号： | 202110977279.9 | 申请日： | 2021-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN113670201A | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 陈峰;徐伟 | 申请（专利权）人： | 杭州微影软件有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 孙翠贤;孟维娜 |
| 地址： | 310051 浙江省杭州市滨江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种标定数据生成方法、装置及标定数据生成系统，涉及ABF装置标定技术领域，应用于控制端，控制端分别与位置测量装置和待标定的ABF装置相通信，位置测量装置用于获取ABF装置内步进电机的位置信息，方案包括：控制步进电机进行移动，并通过位置测量装置实时获取步进电机的位置信息；当基于所获取的位置信息判定步进电机移动指定距离时，确定步进电机所处的位置为标定位置，并获取ABF装置内编码芯片生成的目标编码值；基于标定位置与目标编码值，生成一对标定数据，并返回执行控制步进电机进行移动的步骤，直至步进电机移动至最大可移动位置。采用本发明实施例上述方案可以提高获取标定数据的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 标定 数据 生成 方法 装置 系统 | ||
【主权项】：
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