[发明专利]用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置在审
| 申请号： | 202110974429.0 | 申请日： | 2021-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN113881924A | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 祝海生;黄乐;孙桂红;梁红;黄国兴;唐洪波;左莉 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 湖南乔熹知识产权代理事务所(普通合伙) 43262 | 代理人： | 安曼 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置，用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置包括安装框，所述安装框内具有放置腔，所述放置腔内设置有至少一个安装滚筒，所述安装滚筒呈中空，所述安装滚筒的外表面和内表面均用于固定工件，所述用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置还包括多个万向轮，多个所述万向轮均设置在所述安装框的底部。本发明提供的用于真空磁控溅射镀膜机能够十分方便工件的转运，进而提升效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 磁控溅射 镀膜 工件 转移 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湘潭宏大真空技术股份有限公司，未经湘潭宏大真空技术股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110974429.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
