[发明专利]用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置

权利要求书

1.一种用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置，其特征在于，所述用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置包括安装框，所述安装框内具有放置腔，所述放置腔内设置有至少一个安装滚筒，所述安装滚筒呈中空，所述安装滚筒的外表面和内表面均用于固定工件，所述用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置还包括多个万向轮，多个所述万向轮均设置在所述安装框的底部。

2.根据权利要求1所述的用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置，其特征在于，所述安装框包括底板、外框以及顶板，所述底板和所述顶板相对设置，所述外框的两端分别环绕所述底板和所述顶板的外缘连接以围成所述放置腔。

3.根据权利要求2所述的用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置，其特征在于，所述外框为矩形框，所述外框包括首尾连接的第一框体、第二框体、第三框体以及第四框体，所述第一框体和所述第三框体相对设置，所述第二框体和所述第四框体相对设置。

4.根据权利要求3所述的用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置，其特征在于，所述第一框体和所述第三框体均嵌设有铝塑板以封闭所述第一框体和所述第三框体。

5.根据权利要求3所述的用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置，其特征在于，所述第二框体和所述第四框体上均设有至少两个推拉门，所述第二框体和所述第四框体的底部和顶部均设有滑轨，所述推拉门的上下两端均与所述滑轨滑动连接。

6.根据权利要求5所述的用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置，其特征在于，所述推拉门为透明玻璃门。

7.根据权利要求2所述的用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置，其特征在于，所述底板上设置有移动轨道，所述安装滚筒滑动设置在所述移动轨道上，所述移动轨道用于与外部传送带对接连接。

8.根据权利要求1所述的用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置，其特征在于，所述安装滚筒的形状为正棱柱。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置，其特征在于，所述安装滚筒包括第一安装盘、第二安装盘以及多个安装筒，所述第一安装盘和所述第二安装盘沿上下方向间隔设置，多个所述安装筒的两端分别与所述第一安装盘和所述第二安装盘的相面对的壁面连接，所述安装筒的外表面用于安装工件，所述安装筒能够饶其自身轴线旋转。

10.根据权利要求9所述的用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置，其特征在于，所述用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置还包括与所述安装筒的数量相等的旋转轴，所述旋转轴的两端分别与所述第一安装盘和所述第二安装盘相面对的壁面连接，所述旋转轴一一对应地插装在所述安装筒的轴心处，所述旋转轴能够绕其自身轴线旋转。