[发明专利]用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置

说明书

本发明公开一种用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置，用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置包括安装框，所述安装框内具有放置腔，所述放置腔内设置有至少一个安装滚筒，所述安装滚筒呈中空，所述安装滚筒的外表面和内表面均用于固定工件，所述用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置还包括多个万向轮，多个所述万向轮均设置在所述安装框的底部。本发明提供的用于真空磁控溅射镀膜机能够十分方便工件的转运，进而提升效率。

技术领域

本发明涉及磁控镀膜领域，尤其涉及一种用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置。

背景技术

在真空磁控镀膜工艺中，针对较为大型的工件，一般是在工件清洗后，采用人工搬运的方式直接送入真空室，或者是先通过人工搬运的方式送入工件架，再由工件架通过传动辊送入真空室。该方式使得工件镀膜的工艺线生产效率低，工人劳动强度大，人力资源投资也高，同时，该方式的输送过程中，工件容易被污染，降低工件在前序清洗机中的清洗结果，从而影响产品质量。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置，旨在解决上述技术问题。

为实现上述目的，本发明提出的一种用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置包括安装框，所述安装框内具有放置腔，所述放置腔内设置有至少一个安装滚筒，所述安装滚筒呈中空，所述安装滚筒的外表面和内表面均用于固定工件，所述用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置还包括多个万向轮，多个所述万向轮均设置在所述安装框的底部。

在一实施例中，所述安装框包括底板、外框以及顶板，所述底板和所述顶板相对设置，所述外框的两端分别环绕所述底板和所述顶板的外缘连接以围成所述放置腔。

在一实施例中，所述外框为矩形框，所述外框包括首尾连接的第一框体、第二框体、第三框体以及第四框体，所述第一框体和所述第三框体相对设置，所述第二框体和所述第四框体相对设置。

在一实施例中，所述第一框体和所述第三框体均嵌设有铝塑板以封闭所述第一框体和所述第三框体。

在一实施例中，所述第二框体和所述第四框体上均设有至少两个推拉门，所述第二框体和所述第四框体的底部和顶部均设有滑轨，所述推拉门的上下两端均与所述滑轨滑动连接。

在一实施例中，所述推拉门为透明玻璃门。

在一实施例中，所述底板上设置有移动轨道，所述安装滚筒滑动设置在所述移动轨道上，所述移动轨道用于与外部传送带对接连接。

在一实施例中，所述安装滚筒的形状为正棱柱。

在一实施例中，所述安装滚筒包括第一安装盘、第二安装盘以及多个安装筒，所述第一安装盘和所述第二安装盘沿上下方向间隔设置，多个所述安装筒的两端分别与所述第一安装盘和所述第二安装盘的相面对的壁面连接，所述安装筒的外表面用于安装工件，所述安装筒能够饶其自身轴线旋转。

在一实施例中，所述用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置还包括与所述安装筒的数量相等的旋转轴，所述旋转轴的两端分别与所述第一安装盘和所述第二安装盘相面对的壁面连接，所述旋转轴一一对应地插装在所述安装筒的轴心处，所述旋转轴能够绕其自身轴线旋转。

本发明的技术方案中，工件转移装置包括安装框，所述安装框内具有放置腔，所述放置腔内设置有至少一个安装滚筒，所述安装滚筒呈中空，所述安装滚筒的外表面和内表面均用于固定工件，所述用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置还包括多个万向轮，多个所述万向轮均设置在所述安装框的底部，因此在工件镀膜后的转运或将工件送至镀膜腔时，均可将工件固定在安装滚筒上，再将安装滚筒设于放置腔内，从而可通过万向轮带动安装框进行移动，方便工件的转运，进而提升效率。

附图说明