[发明专利]一种抛光机的高精度的加压装置在审
| 申请号： | 202110974321.1 | 申请日： | 2021-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN113635164A | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 王永成 | 申请（专利权）人： | 上海致领半导体科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B29/02;B24B37/04;B24B37/34;B24B49/16 |
| 代理公司： | 上海互顺专利代理事务所(普通合伙) 31332 | 代理人： | 韦志刚 |
| 地址： | 201319 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抛光机的高精度的加压装置，包括伺服电机、丝杆、传动装置、弹簧、传感器和施压单元，伺服电机底部输出端与丝杆进行传动连接，丝杆上安装有传动装置，传动装置的侧端上安装有弹簧，弹簧上安装有传感器，传动装置与施压单元进行传动连接。本发明可以实现0压力接触以及精准的压力控制，并且设置的传感器可以检测弹簧的形变而产生的压力变化，电机驱动丝杠压缩弹簧可以产生微量的形变，从而实现精准的压力控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光机 高精度 加压 装置 | ||
【主权项】：
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