[发明专利]一种抛光机的高精度的加压装置

说明书

本发明公开了一种抛光机的高精度的加压装置，包括伺服电机、丝杆、传动装置、弹簧、传感器和施压单元，伺服电机底部输出端与丝杆进行传动连接，丝杆上安装有传动装置，传动装置的侧端上安装有弹簧，弹簧上安装有传感器，传动装置与施压单元进行传动连接。本发明可以实现0压力接触以及精准的压力控制，并且设置的传感器可以检测弹簧的形变而产生的压力变化，电机驱动丝杠压缩弹簧可以产生微量的形变，从而实现精准的压力控制。

技术领域

本发明涉及抛光机相关领域，具体是一种抛光机的高精度的加压装置。

背景技术

现有技术采用伺服电机的传动方式进行，因为运动组件之间有摩擦力，气压需要先克服摩擦力，使得通过气压的变化改变压力的精度不高。

软脆或较薄的半导体晶片在研磨或抛光加工的时候，为了减少破片率，需要使用很小的压力，这样使得较小压力的加压装置精度不高，影响产品的成品率。

发明内容

因此，为了解决上述不足，本发明在此提供一种抛光机的高精度的加压装置。

本发明是这样实现的，构造一种抛光机的高精度的加压装置，该装置包括伺服电机、丝杆、传动装置、弹簧、传感器和施压单元，所述伺服电机底部输出端与丝杆进行传动连接，所述丝杆上安装有传动装置，所述传动装置的侧端上安装有弹簧，所述弹簧上安装有传感器，所述传动装置与施压单元进行传动连接。

优选的，所述弹簧共安装有两个。

优选的，两个所述弹簧上下平行对称设置，分别安装于传动装置上下两端。

优选的，所述传感器共设置有两个。

优选的，两个所述传感器上下对称设置，并与两个弹簧对应设置，分别对应安装于两个弹簧上。

优选的，所述传动装置与丝杆进行传动连接。

优选的，所述施压单元与传动装置同步运行。

本发明具有如下优点：本发明通过改进在此提供一种抛光机的高精度的加压装置，与同类型设备相比，具有如下改进：

优点：本发明所述一种抛光机的高精度的加压装置，可以实现0压力接触以及精准的压力控制，并且设置的传感器可以检测弹簧的形变而产生的压力变化，电机驱动丝杠压缩弹簧可以产生微量的形变，从而实现精准的压力控制。

附图说明

图1是本发明结构示意图；

图2是本发明图1中A处放大结构示意图。

其中：伺服电机-1、丝杆-2、传动装置-3、弹簧-4、传感器-5、施压单元-6。

具体实施方式

下面将结合附图1-2对本发明进行详细说明，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明通过改进在此提供一种抛光机的高精度的加压装置，包括伺服电机1、丝杆2、传动装置3、弹簧4、传感器5和施压单元6，所述伺服电机1底部输出端与丝杆2进行传动连接，所述丝杆2上安装有传动装置3，所述传动装置3的侧端上安装有弹簧4，所述弹簧4上安装有传感器5，所述传动装置3与施压单元6进行传动连接。

进一步的，所述弹簧4共安装有两个，两个弹簧4上下平行对称设置，分别安装于传动装置3上下两端，用于同时作用于传动装置3上下两端。

进一步的，所述传感器5共设置有两个，两个传感器5上下对称设置，并与两个弹簧4对应设置，分别对应安装于两个弹簧4上，设置的两个传感器5可同时检测两个弹簧4的形变。