[发明专利]一种抛光机的高精度的加压装置在审
申请号: | 202110974321.1 | 申请日: | 2021-08-24 |
公开(公告)号: | CN113635164A | 公开(公告)日: | 2021-11-12 |
发明(设计)人: | 王永成 | 申请(专利权)人: | 上海致领半导体科技发展有限公司 |
主分类号: | B24B7/22 | 分类号: | B24B7/22;B24B29/02;B24B37/04;B24B37/34;B24B49/16 |
代理公司: | 上海互顺专利代理事务所(普通合伙) 31332 | 代理人: | 韦志刚 |
地址: | 201319 上海市浦东新区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 抛光机 高精度 加压 装置 | ||
1.一种抛光机的高精度的加压装置,其特征在于:包括伺服电机(1)、丝杆(2)、传动装置(3)、弹簧(4)、传感器(5)和施压单元(6),所述伺服电机(1)底部输出端与丝杆(2)进行传动连接,所述丝杆(2)上安装有传动装置(3),所述传动装置(3)的侧端上安装有弹簧(4),所述弹簧(4)上安装有传感器(5),所述传动装置(3)与施压单元(6)进行传动连接。
2.根据权利要求1所述一种抛光机的高精度的加压装置,其特征在于:所述弹簧(4)共安装有两个。
3.根据权利要求2所述一种抛光机的高精度的加压装置,其特征在于:两个所述弹簧(4)上下平行对称设置,分别安装于传动装置(3)上下两端。
4.根据权利要求1所述一种抛光机的高精度的加压装置,其特征在于:所述传感器(5)共设置有两个。
5.根据权利要求4所述一种抛光机的高精度的加压装置,其特征在于:两个所述传感器(5)上下对称设置,并与两个弹簧(4)对应设置,分别对应安装于两个弹簧(4)上。
6.根据权利要求1所述一种抛光机的高精度的加压装置,其特征在于:所述传动装置(3)与丝杆(2)进行传动连接。
7.根据权利要求1所述一种抛光机的高精度的加压装置,其特征在于:所述施压单元(6)与传动装置(3)同步运行。
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