[发明专利]光罩清洁装置在审
| 申请号： | 202110967922.X | 申请日： | 2021-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN115709183A | 公开（公告）日： | 2023-02-24 |
| 发明（设计）人： | 陈杰;向少卿 | 申请（专利权）人： | 上海禾赛科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B3/02;B08B3/10;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 | 代理人： | 李丽 |
| 地址： | 201821 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光罩清洁装置，适用于激光雷达，包括清洁部件，环绕套设于所述激光雷达的光罩的外表面；驱动部件，用于驱动所述清洁部件沿所述光罩的外表面运动；喷射部件，设置于支撑所述激光雷达的底座，用于向所述激光雷达的光罩的外表面喷射清洁液；本发明所提供的光罩清洁装置，通过将所述喷射部件和所述清洁部件设置在不同的位置，使得所述喷射部件和所述清洁部件能够在独立工作的同时相互配合完成对所述光罩的清洁工作，降低了对光罩清洁装置的控制难度，进一步提高了光罩的清洁效果。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 | ||
【主权项】：
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