[发明专利]光罩清洁装置在审

专利信息
申请号: 202110967922.X 申请日: 2021-08-23
公开(公告)号: CN115709183A 公开(公告)日: 2023-02-24
发明(设计)人: 陈杰;向少卿 申请(专利权)人: 上海禾赛科技有限公司
主分类号: B08B1/00 分类号: B08B1/00;B08B3/02;B08B3/10;B08B13/00
代理公司: 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 代理人: 李丽
地址: 201821 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 清洁 装置
【权利要求书】:

1.一种光罩清洁装置,其特征在于,适用于激光雷达,包括:

清洁部件,环绕套设于所述激光雷达的光罩的外表面;

驱动部件,用于驱动所述清洁部件沿所述光罩的外表面运动;

喷射部件,设置于支撑所述激光雷达的底座,用于向所述光罩的外表面喷射清洁液。

2.如权利要求1所述的光罩清洁装置,其特征在于,所述驱动部件包括:可伸缩支架,一端连接于所述底座,另一端与所述清洁部件连接,适于在伸缩时带动所述清洁部件沿所述光罩的外表面运动。

3.如权利要求2所述的光罩清洁装置,其特征在于,所述底座开设有底座滑动槽,所述可伸缩支架包括:

上部支架,所述上部支架的第一端与所述清洁部件连接;

下部支架,所述下部支架的第一端嵌装于所述底座滑动槽,且可沿所述底座滑动槽滑动,所述下部支架的第二端与所述上部支架的第二端连接。

4.如权利要求3所述的光罩清洁装置,其特征在于,所述可伸缩支架还包括:

中间支架,设置于所述下部支架和所述上部支架之间,且两端分别与所述下部支架的第二端和所述上部支架的第二端连接。

5.如权利要求3所述的光罩清洁装置,其特征在于,所述驱动部件还包括:

拉伸部件,用于使所述可伸缩支架沿所述激光雷达的光罩的外表面伸长;

压缩部件,用于使所述可伸缩支架沿所述激光雷达的光罩的外表面缩短。

6.如权利要求5所述的光罩清洁装置,其特征在于,

所述下部支架包括第一下部支架和第二下部支架,二者相互连接;

所述拉伸部件,包括第一拉伸部件和第二拉伸部件,所述第一拉伸部件的第一端与所述第一下部支架的第一端固定连接,所述第二拉伸部件的第一端与所述第二下部支架的第一端固定连接;

所述压缩部件的第一端,连接于所述第一下部支架和所述第二下部支架的连接点。

7.如权利要求6所述的光罩清洁装置,其特征在于,所述压缩部件缠绕于所述连接点。

8.如权利要求6所述的光罩清洁装置,其特征在于,所述底座开设有限位部件,所述拉伸部件穿过所述限位部件。

9.如权利要求8所述的光罩清洁装置,其特征在于,所述第一拉伸部件和所述第二拉伸部件,通过所述限位部件收束,呈Y字型连接。

10.如权利要求5-8所述的光罩清洁装置,其特征在于,多个所述拉伸部件和多个所述压缩部件均收束连接,且收束点均位于所述激光雷达的中轴线上。

11.如权利要求2所述的光罩清洁装置,其特征在于,所述可伸缩支架的数量为至少2个,所述喷射部件的数量为至少2个,各个所述可伸缩支架和各个所述喷射部件间隔设置。

12.如权利要求2所述的光罩清洁装置,其特征在于,所述底座开设有底座滑动槽,所述清洁部件开设有清洁滑动槽,所述可伸缩支架的第一端嵌装于所述底座滑动槽,且可沿所述底座滑动槽滑动,所述可伸缩支架的第二端嵌装于所述清洁滑动槽,且可沿所述清洁滑动槽滑动。

13.如权利要求1所述的光罩清洁装置,其特征在于,所述底座开设有通气孔,所述驱动部件包括:

伸缩气囊,一端与所述激光雷达的底座连接,且所述伸缩气囊的内腔与所述通气孔连通,另一端与所述清洁部件连接,适于随着所述伸缩气囊的充放气带动所述清洁部件沿所述光罩的外表面运动。

14.如权利要求13所述的光罩清洁装置,其特征在于,所述驱动部件还包括:

气泵,所述气泵的气门与所述通气孔连通。

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