[发明专利]曲面基片的镀膜夹具及镀膜系统在审
| 申请号： | 202110966057.7 | 申请日： | 2021-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN113621931A | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 谭秋林;董和磊;张磊;李硕林 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/16;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京致科知识产权代理有限公司 11672 | 代理人： | 李洪娟;魏红雅 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明提供一种曲面基片的镀膜夹具及镀膜系统，该夹具包括：底板、背板、固定夹板、移动夹板和支柱；所述背板、所述固定夹板、所述移动夹板和所述支柱设置在所述底板上；所述背板用于曲面基片第一端的抵靠；所述固定夹板和所述移动夹板配合，用于对所述曲面基片的夹持；所述支柱用于支撑所述曲面基片的第二端，以使所述曲面基片保持目标状态。本发明可以将夹持有曲面基片的夹具置于镀膜设备中，在曲面基片上可以更加有效的进行刻蚀和沉积材料，从而能够在曲面基片上有效制备薄膜传感器，解决了现有技术无法在曲面基片有效进行镀膜的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 曲面 镀膜 夹具 系统 | ||
【主权项】：
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