[发明专利]曲面基片的镀膜夹具及镀膜系统

权利要求书

1.一种曲面基片的镀膜夹具，其特征在于，包括：底板、背板、固定夹板、移动夹板和支柱；

所述背板、所述固定夹板、所述移动夹板和所述支柱设置在所述底板上；

所述背板用于曲面基片第一端的抵靠；

所述固定夹板和所述移动夹板配合，用于对所述曲面基片的夹持；

所述支柱用于支撑所述曲面基片的第二端，以使所述曲面基片保持目标状态。

2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述背板和所述支柱分别设置在所述底板上第一位置和第二位置；

所述固定夹板设置在所述底板上的第三位置，所述移动夹板与所述固定夹板平行设置，能够沿靠近或远离所述固定夹板的方向移动；

所述第一位置和所述第二位置在所述固定夹板和所述移动夹板中心连线的两侧。

3.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述支柱包括固定柱和高度调节旋钮，用于调节所支撑的所述曲面基片的第二端的高度，以调节所述曲面基片的上表面与底板的角度。

4.根据权利要求3所述的夹具，其特征在于，所述固定柱为螺母，所述高度调节旋钮为与所述螺母适配的螺杆。

5.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，还包括丝杠和固定板；

所述固定板固定设置在所述底板上，所述固定板位于所述移动夹板远离所述固定夹板的一侧；

所述丝杠的一端与所述固定夹板连接，所述丝杠的另一端与所述固定板连接，所述移动夹板通过螺母套接在所述丝杠上，将所述丝杠的旋转运动转换为所述移动夹板的直线运动，使得所述移动夹板沿所述丝杠向所述固定夹板移动或向所述固定板移动，以适配对不同尺寸曲面基片的夹持。

6.根据权利要求5所述的夹具，其特征在于，所述丝杠的另一端设置有夹持旋钮，用于带动所述移动夹板沿所述丝杠移动。

7.根据权利要求5所述的夹具，其特征在于，还包括导向杆；

所述导向杆的一端与所述固定夹板固定连接，所述导向杆的另一端与所述固定板固定连接，所述导向杆穿过所述移动夹板，所述移动夹板能够沿所述导向杆移动。

8.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，还包括导轨及滑块；

所述导轨固定在所述底板上，所述滑块与所述导轨滑动连接，且与所述移动夹板固定连接，带动所述移动夹板沿所述导轨移动，以适配对不同尺寸曲面基片的夹持。

9.根据权利要求1-8任一项所述的夹具，其特征在于，所述底板的横截面为圆形、正方形或长方形。

10.一种曲面基片的镀膜系统，其特征在于，包括镀膜设备及如权利要求1-9任一项所述的曲面基片的镀膜夹具；

所述曲面基片夹持在所述曲面基片的镀膜夹具上；

所述曲面基片的镀膜夹具置于所述镀膜设备的溅射室内，以使所述镀膜设备为所述曲面基片镀膜。