[发明专利]曲面基片的镀膜夹具及镀膜系统

说明书

本发明提供一种曲面基片的镀膜夹具及镀膜系统，该夹具包括：底板、背板、固定夹板、移动夹板和支柱；所述背板、所述固定夹板、所述移动夹板和所述支柱设置在所述底板上；所述背板用于曲面基片第一端的抵靠；所述固定夹板和所述移动夹板配合，用于对所述曲面基片的夹持；所述支柱用于支撑所述曲面基片的第二端，以使所述曲面基片保持目标状态。本发明可以将夹持有曲面基片的夹具置于镀膜设备中，在曲面基片上可以更加有效的进行刻蚀和沉积材料，从而能够在曲面基片上有效制备薄膜传感器，解决了现有技术无法在曲面基片有效进行镀膜的问题。

技术领域

本发明涉及镀膜生产技术领域，尤其涉及一种曲面基片的镀膜夹具及镀膜系统。

背景技术

随着航天事业的快速发展，航空发动机随之向更高的水平更新换代，与此同时，引擎发动时内部温度也越来越高，使得发动机叶片等高温部件需要在更高环境中工作，为了保证高温部件的正常工作，对高温部件的温度、应变等进行监测以检测其工作状态是必不可少的，对高温部件温度、应变等的监测通常采用薄膜传感器实现，薄膜传感器是通过在基片上沉积薄膜(即镀膜)制备而成。

现有技术通常是将平面基片置于镀膜设备内进行镀膜，对于曲面基片却无法有效进行镀膜，从而对发动机叶片的曲面部分的温度、应变等参数无法进行有效监测。

发明内容

本发明实施例提供一种曲面基片的镀膜夹具及镀膜系统，以解决现有技术对曲面基片无法有效镀膜等问题。

第一个方面，本发明实施例提供一种曲面基片的镀膜夹具，包括：

底板、背板、固定夹板、移动夹板和支柱；

所述背板、所述固定夹板、所述移动夹板和所述支柱设置在所述底板上；

所述背板用于曲面基片第一端的抵靠；

所述固定夹板和所述移动夹板配合，用于对所述曲面基片的夹持；

所述支柱用于支撑所述曲面基片的第二端，以使所述曲面基片保持目标状态。

第二个方面，本发明实施例提供一种曲面基片的镀膜系统，包括：

镀膜设备及如上第一个方面以及第一个方面各种可能的设计所述的曲面基片的镀膜夹具；

所述曲面基片夹持在所述曲面基片的镀膜夹具上；

所述曲面基片的镀膜夹具置于所述镀膜设备的溅射室内，以使所述镀膜设备为所述曲面基片镀膜。

本发明实施例提供的曲面基片的镀膜夹具及镀膜系统，通过底板承载曲面基片、背板抵靠住曲面基片的一端，支柱支撑曲面基片的另一端，固定夹板和移动夹板夹持曲面基片的两侧，使曲面基片能够在夹具上保持需要的目标状态，从而可以将夹持有曲面基片的夹具置于镀膜设备中，在曲面基片上可以更加有效的进行刻蚀和沉积材料，从而能够在曲面基片上有效制备薄膜传感器，解决了现有技术无法在曲面基片有效进行镀膜的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明一实施例提供的曲面基片的镀膜夹具的一种示例性俯视图；

图2为本发明一实施例提供的图1中曲面基片的镀膜夹具的一种示例性主视图；

图3A为本发明一实施例提供的曲面基片的一种示例性视角的结构示意图；

图3B为本发明一实施例提供的图3A曲面基片的另一视角的结构示意图；

图3C为本发明一实施例提供的图曲面基片的再一种示例性视角的结构示意图；