[发明专利]压电MEMS麦克风在审
| 申请号： | 202110962909.5 | 申请日： | 2021-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN113993047A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 张孟伦 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | H04R17/02 | 分类号： | H04R17/02;H04R19/04;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京汉智嘉成知识产权代理有限公司 11682 | 代理人： | 姜劲;谷惠敏 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压电MEMS麦克风，包括基底和位于基底之上的一个或多个音膜，音膜包括：纵向方向堆叠的一层或多层压电层、一层或多层电极层、以及一层或多层介质层，其中，介质层位于压电层和电极层之间。本发明通过将介质层插入压电层和电极层之间，减小了流过压电层的漏电流和在压电层之中的介电损耗，减小了压电层的等效损耗角tanδ，最终提高压电MEMS麦克风的信噪比SNR，改善了压电MEMS麦克风性能。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
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