[发明专利]一种集成面内和面外两种电极的微半球陀螺仪在审
| 申请号： | 202110961534.0 | 申请日： | 2021-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN113532407A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 庄须叶;刘靖豪;李平华;张佳宁;张晓阳 | 申请（专利权）人： | 山东理工大学 |
| 主分类号： | G01C19/5691 | 分类号： | G01C19/5691 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 255086 山东省淄*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种集成面内和面外两种电极的微半球陀螺仪，包括半球谐振子，半球谐振子的半球边缘具有裙边，底部具有锚杆；半球谐振子下方设有面内电极，呈立体球面排列，面内电极通过密封环固定在一起，且面内电极下方设置有金属PAD电极，用于外接导线；半球谐振子上方设有面外电极，呈平面环形排列，与谐振子边缘带相接，面外电极位于顶盖上，顶盖外缘设置有金属PAD电极，用于外接导线；面内电极下方是封底层，封底层边缘有锥型孔，与面内电极下方的金属PAD电极一一对应。本发明同时采用面内电极和面外电极两组电极进行驱动和检测，弥补了面外传感信号弱的不足，提高了面内电极检测的对称性，提高了陀螺的电学对称性低和电学调谐能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 和面 外两种 电极 半球 陀螺仪 | ||
【主权项】：
暂无信息
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