[发明专利]一种SQUID芯片与磁显微镜探头及其封装方法有效
| 申请号： | 202110958803.8 | 申请日： | 2021-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN113793895B | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 王海;朱浩波;李子豪;孔祥燕 | 申请（专利权）人： | 宁波大学 |
| 主分类号： | H10N60/82 | 分类号： | H10N60/82;H10N60/80;H10N60/01;H05K13/04 |
| 代理公司： | 宁波甬楹专利代理事务所(普通合伙) 33447 | 代理人： | 陈其明 |
| 地址： | 315211 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 提供一种SQUID芯片与磁显微镜探头及其封装方法，SQUID芯片1衬底层2外表面设置焊盘5，衬底层2打孔，从磁通感应结区引出导电连接线6经衬底层2的孔与焊盘5电连接；磁显微镜探头包括杜瓦、冷指9与芯片1，冷指9顶端开设非贯穿槽12，铜引脚13以其导电面14朝上方式分别嵌入非贯穿槽12中，外端设置导电连接线6连接排插引脚11，焊盘5朝下分别对应铜引脚13的导电面14，由导电胶16电连接；导电胶16加热至近200度后粘贴在冷指9顶端，将芯片1压焊在冷指9顶端的对应位置，并达到设定的压力和时间；本发明能减少芯片到被测样品的距离，较大幅度提升磁显微镜的分辨率，并提升了效率，降低了维护难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 squid 芯片 显微镜 探头 及其 封装 方法 | ||
【主权项】：
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