[发明专利]一种掩膜版的上版装置

摘要

本发明公开了一种掩膜版的上版装置，包括一呈倾斜状的支撑主体，支撑主体上设置有下支撑组件、左支撑组件和右支撑组件，下支撑组件、左支撑组件和右支撑组件形成一倾斜支撑面，掩膜板置于倾斜支撑面上且掩膜板中心与倾斜支撑面的中心重合，实现对掩膜板支撑；本发明的上版装置，应用于采用六轴机器人进行自动化运输的掩膜版生产线中，通过本上版装置将掩膜版安装固定的姿态放置在固定的位置，避免了光刻机自带的load或AGV进行上版时的复杂的定位操作与控制，以低成本的方法和装置实现不同尺寸掩膜版高精度上版的功能，确保掩膜版生产的定位精度，减少光刻机对掩膜版的定位调整时间，提高掩膜版的生产效率和产品品质。