[发明专利]一种掩膜版的上版装置有效
| 申请号: | 202110947574.X | 申请日: | 2021-08-18 |
| 公开(公告)号: | CN113805430B | 公开(公告)日: | 2023-05-09 |
| 发明(设计)人: | 张伟明;谭超华;李胜 | 申请(专利权)人: | 合肥清溢光电有限公司 |
| 主分类号: | G03F1/68 | 分类号: | G03F1/68 |
| 代理公司: | 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 | 代理人: | 殷娟 |
| 地址: | 230000 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 掩膜版 装置 | ||
1.一种掩膜版的上版装置,其特征在于,包括一呈倾斜状的支撑主体,所述支撑主体上设置有可沿所述支撑主体升降的下支撑组件以及以支撑主体中线轴对称设置的左支撑组件和右支撑组件,所述左支撑组件和右支撑组件均做靠近或远离所述下支撑组件的移动,所述下支撑组件、左支撑组件和右支撑组件形成一倾斜支撑面,所述倾斜支撑面的中心固定,掩膜板置于所述倾斜支撑面上且掩膜板中心与所述倾斜支撑面的中心重合,所述下支撑组件、左支撑组件和右支撑组件分别与掩膜板的下边沿、左边沿和右边沿接触,实现对掩膜板支撑。
2.根据权利要求1所述的掩膜版的上版装置,其特征在于,所述支撑主体包括呈水平状态的支撑底座、安装于所述支撑底座上的倾斜支撑框架和安装于所述倾斜支撑框架上的防摔支撑面,所述防摔支撑面设置在所述倾斜支撑面后部,所述倾斜支撑框架的倾斜角度为65°~75°;所述倾斜支撑面的中心距离地面高度为130cm~145cm;
所述防摔支撑面包括以倾斜支撑面中线轴对称设置的防摔支架和安装于所述防摔支架上的若干防摔支撑PIN,防摔支撑PIN采用软塑料制成并均布置于倾斜支撑面中线两侧。
3.根据权利要求1所述的掩膜版的上版装置,其特征在于,所述下支撑组件包括设置在所述倾斜支撑面的中线后部且平行的升降导杆和升降螺杆、套设在所述升降螺杆上的升降支撑块以及驱动所述升降螺杆旋转的伺服电机;所述伺服电机设置在升降螺杆顶部且位于防摔支撑面后部;所述升降支撑块上升至最高位置为倾斜支撑面的中心位置。
4.根据权利要求3所述的掩膜版的上版装置,其特征在于,所述升降支撑块上穿过有与升降螺杆平行的纵向标尺,所述纵向标尺最高位置的刻度为零刻度并与倾斜支撑面的中心位置的在高度方向上重合。
5.根据权利要求3所述的掩膜版的上版装置,其特征在于,所述升降支撑块包括套设在所述升降导杆与所述升降螺杆上的升降支撑块底座和可拆卸固定在所述升降支撑块底座上的两下支撑PIN,两所述下支撑PIN以倾斜支撑面中线轴对称设置;
所述下支撑PIN横截面呈“凹”字形,两下支撑PIN中线重合并与所述倾斜支撑面中线垂直,横截面呈“凹”字形下支撑PIN的槽口向上且槽宽大于掩膜版厚度。
6.根据权利要求1所述的掩膜版的上版装置,其特征在于,所述左支撑组件包括左支撑块和带动所述左支撑块往复移动的左驱动组件,所述右支撑组件包括右支撑块和带动所述右支撑块往复移动的右驱动组件;
所述左驱动组件和所述右驱动组件均包括平行且同步旋转的上螺杆和下螺杆,所述上螺杆与下螺杆之间连接有同步连接组件,下螺杆一端固接有旋转转盘;
所述上螺杆和下螺杆分别设置在倾斜支撑框架的顶边和底边位置;所述左支撑块上下两端分别套设在左驱动组件的上螺杆和下螺杆上,所述右支撑块上下两端分别套设在右驱动组件的上螺杆和下螺杆上。
7.根据权利要求6所述的掩膜版的上版装置,其特征在于,所述左支撑块包括左移动连接块和设置在所述左移动连接块上的若干左支撑PIN,所述右支撑块包括右移动连接块和设置在所述右移动连接块上的若干右支撑PIN;所述左移动连接块与左驱动组件的上螺杆、下螺杆连接,所述右移动连接块与右驱动组件的上螺杆、下螺杆连接。
8.根据权利要求7所述的掩膜版的上版装置,其特征在于,所述左支撑PIN和右支撑PIN均包括一呈L型的夹紧支撑块,左支撑PIN的夹紧支撑块和右支撑PIN的夹紧支撑块相对设置,形成所述倾斜支撑面,实现掩膜版支撑,同时还形成一相对夹紧面,夹紧掩膜版。
9.根据权利要求6所述的掩膜版的上版装置,其特征在于,所述倾斜支撑框架的底边设置有横向标尺,所述横向标尺以倾斜支撑面中线位置为零刻度,向左右两侧延伸标注,分别实现对左支撑块和右支撑块距离倾斜支撑面中线距离的标识。
10.根据权利要求2所述的掩膜版的上版装置,其特征在于,所述支撑底座底部设置有万向行走轮和升降地脚。
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