[发明专利]一种圆晶沟槽镀膜设备

摘要

本发明公开了一种圆晶沟槽镀膜设备，包括传动链条，传动链条上轴接有若干涂布板，涂布板上安装有圆晶夹持装置，涂布板底部连接有齿轮；所述传动链条两侧安装有限位板，沿传动链条传动方向依次安装有清洗剂涂布板枪、第一刮平机构、聚硅氮烷涂布枪和第二刮平机构；所述清洗剂涂布板枪和聚硅氮烷涂布枪对应位置的一侧限位板上固定有与齿轮啮合的齿条。本发明在涂布前采用清洗剂降低沟槽的表面张力以及粘度，从而有效防止气泡产生，此外采用特殊结构，使得其喷涂是形成螺旋线构造，便于涂布，节省了原料。