[发明专利]一种ITO废靶材的回收工艺有效
申请号: | 202110930807.5 | 申请日: | 2021-08-13 |
公开(公告)号: | CN113652717B | 公开(公告)日: | 2023-04-11 |
发明(设计)人: | 包海峰;刘凯凯;罗泽亮;李斌 | 申请(专利权)人: | 恩施市致纯电子材料有限公司 |
主分类号: | C25C1/22 | 分类号: | C25C1/22;C25C7/06;C25C7/08;C25C7/02 |
代理公司: | 武汉市首臻知识产权代理有限公司 42229 | 代理人: | 刘牧 |
地址: | 445000 湖北省恩施*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 一种ITO废靶材的回收工艺,先在电解槽内调配电解液,电解液的PH值在0.5—2之间,电解液中的溶质为有机酸根0.01—5mol/l,无机酸根0.01—5mol/l,电解液中的溶剂为超纯水,再将ITO废靶材放入阳极筐内,然后将阴极板、阳极筐都放入电解液内,阳极筐的内部与电解液相通,再将阳极筐上、阴极板上的阴极耳接入电路,然后启动阳极耳、阴极耳所在电路以开始电解,电解的温度为10—50℃,电解的电流为30‑100A/㎡,直至阴极板表面出现铟单质,优选阴极板上出现的铟单质呈现为整片状,以进行整片取铟。本设计不仅无废气、废液产生,污染较小,而且无损耗,成本较低。 | ||
搜索关键词: | 一种 ito 废靶材 回收 工艺 | ||
【主权项】:
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