[发明专利]一种ITO废靶材的回收工艺

说明书

一种ITO废靶材的回收工艺，先在电解槽内调配电解液，电解液的PH值在0.5—2之间，电解液中的溶质为有机酸根0.01—5mol/l，无机酸根0.01—5mol/l，电解液中的溶剂为超纯水，再将ITO废靶材放入阳极筐内，然后将阴极板、阳极筐都放入电解液内，阳极筐的内部与电解液相通，再将阳极筐上、阴极板上的阴极耳接入电路，然后启动阳极耳、阴极耳所在电路以开始电解，电解的温度为10—50℃，电解的电流为30‑100A/㎡，直至阴极板表面出现铟单质，优选阴极板上出现的铟单质呈现为整片状，以进行整片取铟。本设计不仅无废气、废液产生，污染较小，而且无损耗，成本较低。

技术领域

本发明涉及一种回收技术，属于ITO靶材领域，尤其涉及一种ITO废靶材的回收工艺。

背景技术

ITO靶材是由纯度为99.99%以上的铟和纯度99.99%以上的锡混合通过电化学，或火法制备而成，在现有的技术中，ITO靶材的使用效率仅为30%左右，有大量废靶材产生，而就废靶材而言，其依然主要为氧化铟和氧化锡的混合物，其中，氧化铟、氧化锡的质量比例一般在95—80：5—15之间，回收ITO靶材的主要目的是提纯靶材中高附加值的金属铟，纯度越高，后续使用的性能会更好，金属在地球的总量是有限的，而回收提纯可是更高效的使用资源。

现有的回收方法一般包括火法回收与酸溶法，其中，火法回收的耗能较多，且会产生大量污染；至于酸溶法，需要先将废靶材磨成粉，再加强酸溶解，然后通过调节PH值分段回收锡与铟，回收过程中有许多废液与废气生成，同时，粉末在打磨中易产生损耗和其他元素污染。

公开该背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本专利申请的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术中存在的污染较大、成本较高的缺陷与问题，提供一种污染较小、成本较低的ITO废靶材的回收工艺。

为实现以上目的，本发明的技术解决方案是：一种ITO废靶材的回收工艺，所述回收工艺包括以下步骤：

造液步骤：在电解槽内调配电解液，该电解液的PH值在0.5—2之间；所述电解液中的溶质为有机酸根0.01—5mol/l，无机酸根0.01—5mol/l，电解液中的溶剂为超纯水；

投料步骤：先将ITO废靶材放入阳极筐内，再将阴极板、阳极筐都放入电解液内，阳极筐的内部与电解液相通，然后将阳极筐上的阳极耳、阴极板上的阴极耳接入电路；

电解步骤：启动阳极耳、阴极耳所在电路，开始电解，电解的温度为10—50℃，电解的电流为30-100A/㎡，直至阴极板表面出现铟单质。

所述阴极板上出现的铟单质呈现为整片状，以进行整片取铟。

所述整片取铟的频率为24—72小时/次。

所述有机酸根为磺酸根、柠檬酸根、甲酸根、亚磺酸根中的任意一种或任意混合。

所述无机酸根为硫酸根、硝酸根中的任意一种或任意混合。

所述电解步骤所得的铟单质，先用纯水清洗至清洗后水电阻不低于1千欧，再对铟单质进行压饼、熔铸，以获得铟饼。

所述阳极筐的顶部上近阳顶筐口的部位设置有阳极耳，阳极筐的内部设置有阳极筐内腔以设置ITO废靶材，阳极筐的侧部上开设有多个阳通孔以与电解槽内的电解液相通。

所述阳极筐、阳极耳的制作材质都为钛。

所述投料步骤中，所述将阴极板放入电解液内是指：先将阴极板放入阴极筐内，再将阴极筐放入电解液内，所述阴极筐包括阴底板及与其四个侧边一一对应进行垂直连接的阴前板、阴后板、阴左板、阴右板，所述阴前板、阴后板、阴左板、阴右板都为封闭结构；