[发明专利]一种ITO废靶材的回收工艺

权利要求书

1.一种ITO废靶材的回收工艺，其特征在于所述回收工艺包括以下步骤：

造液步骤：在电解槽（1）内调配电解液（10），该电解液（10）的pH值在0.5—2之间；所述电解液（10）中的溶质为有机酸根0.01—5mol/l，无机酸根0.01—5mol/l，电解液（10）中的溶剂为超纯水；

投料步骤：先将ITO废靶材放入阳极筐（2）内，再将阴极板（3）、阳极筐（2）都放入电解液（10）内，阳极筐（2）的内部与电解液（10）相通，然后将阳极筐（2）上的阳极耳（22）、阴极板（3）上的阴极耳接入电路；

电解步骤：启动阳极耳（22）、阴极耳所在电路，开始电解，电解的温度为10—50℃，电解的电流为30-100A/㎡，直至阴极板（3）表面出现铟单质；

所述有机酸根为磺酸根、柠檬酸根、甲酸根、亚磺酸根中的任意一种或任意混合；

所述无机酸根为硫酸根、硝酸根中的任意一种或任意混合。

2.根据权利要求1所述的一种ITO废靶材的回收工艺，其特征在于：所述阴极板（3）上出现的铟单质呈现为整片状，以进行整片取铟。

3.根据权利要求2所述的一种ITO废靶材的回收工艺，其特征在于：所述整片取铟的频率为24—72小时/次。

4.根据权利要求1、2或3所述的一种ITO废靶材的回收工艺，其特征在于：所述电解步骤所得的铟单质，先用纯水清洗至清洗后水电阻不低于1千欧，再对铟单质进行压饼、熔铸，以获得铟饼。

5.根据权利要求1、2或3所述的一种ITO废靶材的回收工艺，其特征在于：所述阳极筐（2）的顶部上近阳顶筐口（21）的部位设置有阳极耳（22），阳极筐（2）的内部设置有阳极筐内腔（23）以设置ITO废靶材，阳极筐（2）的侧部上开设有多个阳通孔（24）以与电解槽（1）内的电解液（10）相通。

6.根据权利要求5所述的一种ITO废靶材的回收工艺，其特征在于：所述阳极筐（2）、阳极耳（22）的制作材质都为钛。

7.根据权利要求1、2或3所述的一种ITO废靶材的回收工艺，其特征在于：所述投料步骤中，所述将阴极板（3）放入电解液（10）内是指：先将阴极板（3）放入阴极筐（4）内，再将阴极筐（4）放入电解液（10）内，所述阴极筐（4）包括阴底板（41）及与其四个侧边一一对应进行垂直连接的阴前板（42）、阴后板（43）、阴左板（44）、阴右板（45），所述阴前板（42）、阴后板（43）、阴左板（44）、阴右板（45）都为封闭结构；

所述阴左板（44）上近阴底板（41）的部位开设有注液孔（46），阴右板（45）上近阴顶筐口（47）的部位开设有溢流孔（48），所述注液孔（46）与外循环过滤系统（5）的输出端相连通，所述外循环过滤系统（5）的输入端与电解槽（1）内的电解液（10）的上层清液区（11）相通。

8.根据权利要求7所述的一种ITO废靶材的回收工艺，其特征在于：所述电解步骤中，当电解液（10）的pH值不在0.5—1.5之间时，加酸或碱以将pH值调节至0.5—1.5之间。