[发明专利]切削方法在审
| 申请号： | 202110922874.2 | 申请日： | 2021-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN114074381A | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 冈村卓;原田成规 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B28D5/02 | 分类号： | B28D5/02;B28D7/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帅;乔婉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供切削方法，对切削刀具赋予超声波振动而对被加工物进行切削，并且减少切削刀具的过度磨损。切削方法使用切削装置对被加工物进行切削，该切削装置具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；以及切削单元，其具有切削刀具和超声波振子，该切削刀具对卡盘工作台所保持的被加工物进行切削，该超声波振子使切削刀具在切削刀具的径向上进行超声波振动，该切削方法具有：保持步骤，利用卡盘工作台对被加工物进行保持；以及切削步骤，在被加工物所设定的多条切削线中的同一切削线上实施超声波切削和通常切削，该超声波切削利用进行超声波振动的切削刀具对被加工物进行切削，该通常切削利用未进行超声波振动的切削刀具对被加工物进行切削。 | ||
| 搜索关键词： | 切削 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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