[发明专利]微机械陀螺仪在审
| 申请号： | 202110907582.1 | 申请日： | 2021-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN113639736A | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 阚枭;占瞻;马昭;杨珊;李杨;陈秋玉;洪燕;黎家健 | 申请（专利权）人： | 瑞声开泰科技(武汉)有限公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 徐世俊 |
| 地址： | 430200 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微机械陀螺仪，包括基底、固定于基底的至少两个检测结构、以及连接相邻检测结构的耦合梁，每一检测结构包括固定于基底的锚点、悬置于基底上并与锚点连接的圆环形振动结构、多个面内换能器以及多个面外换能器，面内换能器绕圆环形振动结构的中心分布在圆环形振动结构的外侧，面外换能器绕圆环形振动结构的中心分布于圆环形振动结构下方或上方，该检测结构工作在结构面内的3θ体振动驱动模态以及工作在结构面外的第2阶弯曲体振动检测模态，两个体振动模态可相互互换。本发明的微机械陀螺仪可以提高检测灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 陀螺仪 | ||
【主权项】：
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