[发明专利]集成电路芯片微纳尺度缺陷检测装置及方法在审
| 申请号： | 202110901583.5 | 申请日： | 2021-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN113686872A | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 张紫璐;应嘉俊;郎琳;张思源;刘昊洋;江文松;范伟军 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京天汇航智知识产权代理事务所(普通合伙) 11987 | 代理人： | 黄川;史继颖 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了集成电路芯片微纳尺度缺陷检测系统装置和方法，其包括：利用显微视觉测量系统对支架上的待测物体进行拍照扫描，采用机器视觉图像处理方法对得到的数据进行分析和检测；通过跨尺度宏微双驱动平台同时实现跨尺度测量的高精度，高定位功能，补偿移动位移带来的误差。基于上述集成电路芯片微纳尺度缺陷检测系统装置和方法满足工业集成电路芯片的封装测试需求。 | ||
| 搜索关键词： | 集成电路 芯片 尺度 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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