[发明专利]自动调整离子束溅射角和入射角的离子镀装置及方法有效
| 申请号： | 202110892468.6 | 申请日： | 2021-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN113789500B | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 秦工;张江城;邹丽 | 申请（专利权）人： | 湖北三峡职业技术学院 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/32;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 宜昌市慧宜专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 42226 | 代理人： | 夏冬玲 |
| 地址： | 443000 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种高自动调整离子束溅射角和入射角的离子镀装置及方法，它包括真空箱、旋转机构、夹持机构和调整机构，通过真空箱内设置旋转机构、夹持机构和调整机构与离子源位于同一竖直轴线上，夹持机构与转盘连接，调整机构的溅射座位于夹持机构上部，工件被夹持机构夹持于转盘和调整机构之间，通过离子源发射离子束，竖推杆驱动溅射座调整高度，斜推杆驱动溅射片的倾角发生变化，使离子束的溅射角和入射角发生改变，工件随转盘旋转形成导电膜层，有利于使导电膜层均匀附着于工件表面，适应不同厚度和材质的材料，操作简单方便。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 调整 离子束 溅射 入射角 离子镀 装置 方法 | ||
【主权项】：
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