[发明专利]自动调整离子束溅射角和入射角的离子镀装置及方法

说明书

一种高自动调整离子束溅射角和入射角的离子镀装置及方法，它包括真空箱、旋转机构、夹持机构和调整机构，通过真空箱内设置旋转机构、夹持机构和调整机构与离子源位于同一竖直轴线上，夹持机构与转盘连接，调整机构的溅射座位于夹持机构上部，工件被夹持机构夹持于转盘和调整机构之间，通过离子源发射离子束，竖推杆驱动溅射座调整高度，斜推杆驱动溅射片的倾角发生变化，使离子束的溅射角和入射角发生改变，工件随转盘旋转形成导电膜层，有利于使导电膜层均匀附着于工件表面，适应不同厚度和材质的材料，操作简单方便。

技术领域

本发明属于电子机械真空离子镀技术领域，涉及一种自动调整离子束溅射角和入射角的离子镀装置及方法。

背景技术

离子源采用电子的能量存在分布的特性，收集二次电子，并形成离子束，使较低动能的电子采用较高电位的收集极，软着陆于工件表面，降低电子与工件表面的碰撞损耗，在工件表面形成导电膜层，所存在的问题是，离子束直接抵达工件表面存在斑点瑕疵，使得导电膜层不均匀，无法调整溅射角和入射角，不能适应不同厚度和规格的材料。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种自动调整离子束溅射角和入射角的离子镀装置及方法, 结构简单，采用真空箱内设置旋转机构、夹持机构和调整机构与离子源位于同一竖直轴线上，夹持机构与转盘连接，调整机构的溅射座位于夹持机构上部，工件被夹持机构夹持于转盘和调整机构之间，离子源发射离子束，竖推杆驱动溅射座调整高度，斜推杆驱动溅射片的倾角发生变化，使离子束的溅射角和入射角发生改变，工件随转盘旋转形成导电膜层，有利于使导电膜层均匀附着于工件表面，适应不同厚度和材质的材料，操作简单方便。

为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是：一种自动调整离子束溅射角和入射角的离子镀装置，它包括真空箱、旋转机构、夹持机构和调整机构；所述旋转机构的转盘、夹持机构和调整机构皆位于真空箱内与离子源位于同一竖直轴线上，多个夹持机构与转盘连接，调整机构的溅射座位于夹持机构上部，溅射座的高度或溅射片倾角发生变化时，溅射角和入射角随之变化。

所述真空箱为一侧设置封板的中空箱体，位于顶部设置离子源，离子源的发射端位于中空箱体内。

所述真空箱的上下两侧分别设置抽气孔和充气孔。

所述旋转机构包括电机输出端连接的转盘，位于转盘上设置多个呈环形分布的透热孔和承托片，电机位于真空箱下侧与其连接。

所述转盘下部设置环形加热片，环形加热片位于真空箱内。

所述夹持机构包括滑动座配合的夹持把，滑动座底部的滑块与转盘上的滑槽滑动配合，锁紧螺钉与滑块连接锁紧，夹持把的端头深入滑动座一侧的夹持口内。

所述调整机构包括溅射座上下两侧分别连接的多个斜推杆和竖推杆，与斜推杆连接的滑座与溅射片滑动配合。

所述溅射座为圆形的平板，位于中心设置入射孔，多个溅射片分布于入射孔周围，铰接座与溅射片和溅射座连接。

所述溅射片梯形结构的弧板，横截面较小的一端靠近入射孔。

如上所述的自动调整离子束溅射角和入射角的离子镀装置的调整方法，它包括如下步骤：

S1，安装，将抽气孔与真空设备的抽气管连接，充气孔与氩气设备的输送管连接，环形加热片、斜推杆和竖推杆的导线从离子源的封盖端引出与电机和离子源的导线一起接入PLC控制系统；

S2，上料，将工件放入转盘上侧，推动夹持机构，使工件边沿位于滑动座一侧的夹持口内，旋转夹持把锁紧工件，旋转锁紧螺钉锁紧滑动座，盖上封板封闭真空箱；

S3，抽真空，真空设备启动，抽出真空箱内的空气，真空箱内的真空度达到设定值后真空设备停止抽气；

S4，充气，氩气设备启动，向真空箱内注入氩气，当真空箱内的压力值达到设定压力值后氩气设备停止充气；