[发明专利]一种洁净室用包装袋表面微污染的测试方法在审
| 申请号： | 202110890729.0 | 申请日： | 2021-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN113484446A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 张继月;贺贤汉;何盼盼;李文阁;张正伟;蒋立峰 | 申请（专利权）人： | 上海富乐德智能科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02;G01N27/626;G01N1/02 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 陆叶 |
| 地址： | 200444 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域。一种洁净室用包装袋表面微污染的测试方法，包括以下步骤：步骤一，在洁净室的采样区，使用洁净的陶瓷剪刀剪切下包装袋薄膜；步骤二，使用封口器将薄膜封装成三面封闭，一面开口的袋子；步骤三，向袋子中添加提取液，提取液根据袋子的表面积调整，随后封口，静置24小时；然后将提取液转移至干净的空瓶内，测试提取液中的阴阳离子含量，测试提取液中的金属元素含量；步骤四，向另一个洁净的样品瓶中，装入超纯水静24小时；测试提取液中的阴阳离子含量，测试提取液中的金属元素含量；步骤五：取两次测试结果的差值，通过公式计算最终得到待测包装袋表面微量离子含量以及包装袋表面的金属元素含量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 洁净室 装袋 表面 污染 测试 方法 | ||
【主权项】：
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