[发明专利]一种洁净室用包装袋表面微污染的测试方法

说明书

本发明涉及半导体技术领域。一种洁净室用包装袋表面微污染的测试方法，包括以下步骤：步骤一，在洁净室的采样区，使用洁净的陶瓷剪刀剪切下包装袋薄膜；步骤二，使用封口器将薄膜封装成三面封闭，一面开口的袋子；步骤三，向袋子中添加提取液，提取液根据袋子的表面积调整，随后封口，静置24小时；然后将提取液转移至干净的空瓶内，测试提取液中的阴阳离子含量，测试提取液中的金属元素含量；步骤四，向另一个洁净的样品瓶中，装入超纯水静24小时；测试提取液中的阴阳离子含量，测试提取液中的金属元素含量；步骤五：取两次测试结果的差值，通过公式计算最终得到待测包装袋表面微量离子含量以及包装袋表面的金属元素含量。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体是包装袋表面污染的测试方法。

背景技术

包装作为生产工艺中的重要环节，是指对产品进行包裹、封装等操作，使产品在运输传送过程中避免污染、磕碰、破损等等情况发生。特别是在半导体产品生产过程中，随着工艺要求的不断提高，对包装的要求也越来越高。对于包装材料的选择，一般使用塑料包装袋对产品进行包装，从而获得比较好的包装效果。

由于包装袋与包装物紧密接触，包装袋表面残留的污染物容易转移到包装物上。对于半导体器件和精密零部件，微量的污染都有可能直接或间接造成产品缺陷，引起质量问题，所以包装袋的表面污染物必须被严格控制，从而避免包装袋对包装物的污染。无机离子污染和金属元素污染是包装袋内两种受关注的表面污染物。包装袋表面微污染物的监控,对降低污染，提高产品良率具有重要的作用。但是包装袋往往具有不同的尺寸，且没有固定的形状，对包装内污染物的提取和检测是困难的。

对于无机离子污染物和金属污染的检测，常用的检测技术是离子色谱(IC)和电感耦合等离子质谱(ICP-MS)。IC是目前测定微量离子含量最有效的仪器之一，具有ppb级别的低检出限、灵敏度高和同时测定多种离子含量等优点，因而已被广泛的用于离子污染的研究。电感耦合等离子体质谱仪(以下简称，ICP-MS)是目前测定痕量元素最有效的仪器之一，是一种目前发展最快的痕量元素分析技术。ICP-MS具有ppt级别的低检出限、灵敏度高、线性动态范围宽和同时测定多种元素含量等优点，因此被广泛的普遍应用于环境、地质、半导体、生物医学和核应用领域。

目前常用的固体表面离子污染和金属污染的测试手段为投放浸没取样法，即选择合适体积的萃取溶液浸泡样品表面，一定时间后回收，通过IC和ICP-MS测试，可以得出部件表面的无机离子含量和金属污染物含量。但对于包装袋来说，由于其密度往往低于水，受浮力的作用无法完全浸没于水中，因此采用投放浸没的方法无法准确测定其表面微污染含量。

因此，开发一种洁净室用包装袋表面微污染的测试方法具有重要意义。

发明内容

针对现有技术存在的问题，本发明提供一种洁净室用包装袋表面微污染的测试方法，以解决以上至少一个技术问题。

为了达到上述目的，本发明提供了一种洁净室用包装袋表面微污染的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一，在100级或以上等级洁净室的采样区，使用洁净的陶瓷剪刀剪切下包装袋薄膜；

步骤二，使用封口器将薄膜封装成三面封闭，一面开口的袋子；

步骤三，向袋子中添加提取液，提取液根据袋子的表面积调整，随后封口，静置24小时；

然后将提取液转移至干净的空瓶内，用离子色谱测试提取液中的阴阳离子含量，用电感耦合等离子体质谱仪测试提取液中的金属元素含量；

步骤四，向另一个洁净的样品瓶中，装入超纯水静置24小时，作为空白；

用离子色谱测试提取液中的阴阳离子含量，用电感耦合等离子体质谱仪测试提取液中的金属元素含量；

步骤五：取两次测试结果的差值，通过公式计算最终得到待测包装袋表面微量离子含量以及包装袋表面的金属元素含量。