[发明专利]极紫外光生成装置和电子器件的制造方法在审
| 申请号： | 202110880235.4 | 申请日： | 2021-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN114265285A | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 星野裕大;渡边幸雄;西坂敏博;植田笃;神家幸一郎;小山内贵幸;新美刚太 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05H1/24 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于英慧;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供极紫外光生成装置和电子器件的制造方法。极紫外光生成装置具有：腔；第1分隔壁，其覆盖腔的内部的等离子体生成区域，并具有第1开口；EUV聚光镜，其位于腔的内部且第1分隔壁的外部的第1空间，使在等离子体生成区域产生且通过第1开口后的极紫外光聚光；第1气体供给口，其被形成于腔，向第1空间供给气体；以及气体排放口，其被形成于第1分隔壁，将第1分隔壁的内部的第2空间的气体排放到第1分隔壁的外部且腔的外部。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外光 生成 装置 电子器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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