[发明专利]极紫外光生成装置和电子器件的制造方法

权利要求书

1.一种极紫外光生成装置，其具有：

腔；

第1分隔壁，其覆盖所述腔的内部的等离子体生成区域，并具有第1开口；

EUV聚光镜，其位于所述腔的内部且所述第1分隔壁的外部的第1空间，使在所述等离子体生成区域产生且通过所述第1开口后的极紫外光聚光；

第1气体供给口，其被形成于所述腔，向所述第1空间供给气体；以及

气体排放口，其被形成于所述第1分隔壁，将所述第1分隔壁的内部的第2空间的气体排放到所述第1分隔壁的外部且所述腔的外部。

2.根据权利要求1所述的极紫外光生成装置，其中，

以所述第1开口位于由所述EUV聚光镜反射后的极紫外光的光路外的方式，配置所述EUV聚光镜。

3.根据权利要求1所述的极紫外光生成装置，其中，

所述极紫外光生成装置还具有：

第2分隔壁，其将所述第1空间分隔成第3空间和第4空间；以及

第2气体供给口，其被形成于所述腔，向所述第4空间供给气体，

所述第1气体供给口构成为向所述第3空间供给气体，

所述第1分隔壁具有第2开口，

所述第1开口使所述第3空间和所述第2空间连通，

所述第2开口使所述第4空间和所述第2空间连通。

4.根据权利要求3所述的极紫外光生成装置，其中，

所述第2开口使脉冲激光通过，以使该脉冲激光入射到所述等离子体生成区域。

5.根据权利要求4所述的极紫外光生成装置，其中，

所述极紫外光生成装置还具有目标供给部，所述目标供给部向所述等离子体生成区域供给目标物质，

所述第1分隔壁具有第3开口，

所述第3开口使所述第4空间和所述第2空间连通，

所述第3开口使目标物质通过。

6.根据权利要求4所述的极紫外光生成装置，其中，

所述第1分隔壁具有第4开口，

所述第4开口使所述第4空间和所述第2空间连通，

所述第4开口使用于观测所述第2空间的一部分的光通过。

7.根据权利要求1所述的极紫外光生成装置，其中，

所述极紫外光生成装置还具有温度调整装置，所述温度调整装置对所述第1分隔壁的温度进行调整。

8.根据权利要求1所述的极紫外光生成装置，其中，

在所述第1分隔壁的表面形成有抑制附着目标物质的涂层。

9.根据权利要求1所述的极紫外光生成装置，其中，

所述极紫外光生成装置还具有：

目标供给部，其向所述等离子体生成区域供给目标物质；以及

目标回收部，其被配置于所述第1分隔壁，回收通过所述等离子体生成区域后的目标物质。

10.根据权利要求9所述的极紫外光生成装置，其中，

所述第1分隔壁构成为，使所述第2空间的一部分且所述腔的内部的第5空间的气体通过所述第2空间的另一部分且所述腔的外部的第6空间而被排放到所述第1分隔壁的外部，

从所述第5空间朝向所述第6空间的气体的移动方向与重力方向一致。

11.根据权利要求10所述的极紫外光生成装置，其中，

所述极紫外光生成装置还具有排气管，所述排气管与所述气体排放口连接，沿与重力方向交叉的方向引导所述第6空间的气体而进行排气。

12.根据权利要求1所述的极紫外光生成装置，其中，

所述第1分隔壁贯通构成所述腔的壁，

在所述第1分隔壁的周围形成有凸缘，所述凸缘被从所述腔的外部固定于构成所述腔的壁。