[发明专利]体声波谐振器有效
| 申请号： | 202110874214.1 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113556100B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 张大鹏;林瑞钦 | 申请（专利权）人： | 武汉衍熙微器件有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 李健 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市江夏区藏龙岛*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括衬底，依次设于所述衬底上的反射结构、下电极、压电层和上电极，与上电极连接的上电极引线，以及与下电极连接的下电极引线；所述反射结构、所述下电极和所述压电层中的至少两个膜层设有第一缺口，或者所述反射结构、所述下电极和所述压电层中的至少一个膜层设有第一缺口，且所述上电极中设有第二缺口；所述体声波谐振器包括谐振区，所述第一缺口位于所述谐振区外，且第一缺口在所述衬底上的正投影与上电极引线在衬底上的正投影至少部分相交；所述第二缺口位于所述上电极引线的两侧，且与所述上电极引线相邻设置。本发明能够减小谐振器的电损，提升谐振器的Q值，从而提高谐振器性能。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
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