[发明专利]一种无损伤激光器封装装置及使用方法在审
申请号: | 202110872579.0 | 申请日: | 2021-07-30 |
公开(公告)号: | CN115693386A | 公开(公告)日: | 2023-02-03 |
发明(设计)人: | 晏骁哲 | 申请(专利权)人: | 山东华光光电子股份有限公司 |
主分类号: | H01S5/0235 | 分类号: | H01S5/0235;H01S5/0237;H01S5/02365 |
代理公司: | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人: | 赵龙群 |
地址: | 250101 山东省济*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明涉及一种无损伤激光器封装装置及使用方法,属于半导体激光器封装技术领域。装置包括吸嘴模块、夹取模块、移动模块和固定架,其中,固定架顶端横向设置有滚珠丝杠A,滚珠丝杠A连接有丝杠电机A,滚珠丝杠A通过丝杠螺母A连接有滚珠丝杠B,滚珠丝杠B连接有丝杠电机B,滚珠丝杠B竖向设置,滚珠丝杠B通过丝杠螺母B连接有移动模块,移动模块上分别设置有吸嘴模块和夹取模块。本发明通过吸嘴模块和夹取模块夹取激光器芯片,避免了对激光器芯片表面造成损伤或薄膜污染,同时在夹取过程中保证激光器芯片平稳移动,不会发生位置偏移,提高固晶精度和质量,进而提高半导体激光器的封装质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 损伤 激光器 封装 装置 使用方法 | ||
【主权项】:
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