[发明专利]一种用于LED芯片行业wafer电性数据复原的方法有效

专利信息
申请号: 202110871487.0 申请日: 2021-07-30
公开(公告)号: CN113611780B 公开(公告)日: 2023-01-03
发明(设计)人: 郭祖福;彭超;刘奇艳 申请(专利权)人: 湘能华磊光电股份有限公司
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;B07C5/344
代理公司: 长沙七源专利代理事务所(普通合伙) 43214 代理人: 张勇;刘伊旸
地址: 423038 湖*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种用于LED芯片行业wafer电性数据复原的方法,属于芯片分选数据恢复领域,包括以下步骤:一:设点,即将实物芯片及对应的坐标转移到方片资料上,方片资料上原始芯片的坐标为(x1,y1);二:得分选数据,即通过检测并得到分选数据,芯片的坐标为(x2,y2);三:对比,即将步骤二中得到的分选数据与原始芯片数据进行比对,然后得到数据异常的芯片;四:测差值,即将异常芯片现所在的坐标位置与该异常芯原始坐标位置进行对比,并得到错位的差值,差值M1=x2‑x1,M2=y2‑y1;五:恢复异常数据。本发明能有效解决LED芯片行业在分选工序中导致的实物与数据不一致的异常,将实物对应的数据重新恢复。
搜索关键词: 一种 用于 led 芯片 行业 wafer 数据 复原 方法
【主权项】:
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