[发明专利]具有多个底电极层的体声波谐振器、滤波器及电子设备在审
| 申请号： | 202110863363.8 | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN115694399A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 徐洋;庞慰;郝龙;张巍 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种体声波谐振器及其制造方法。该谐振器包括：基底；底电极；顶电极；和压电层，其中：所述底电极包括多个电极层，所述多个电极层至少包括在谐振器的厚度方向上设置的第一电极层和第二电极层，所述第一电极层和第二电极层的材料不同；所述谐振器还包括多个阻挡层，所述多个阻挡层至少包括第一阻挡层和第二阻挡层，所述第一电极层以面接触的方式覆盖第一阻挡层的上侧的至少一部分，所述第二电极层以面接触的方式覆盖第二阻挡层的上侧的至少一部分。本发明还涉及一种滤波器以及一种电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 多个底 电极 声波 谐振器 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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