[发明专利]一种光阻剥离液及剥离工艺在审
| 申请号： | 202110862738.9 | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN113589661A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 陈林;徐杨;李茜茜;李涛;李登涛;靳海仲;邵勇;殷福华;浦陈龙;朱永刚 | 申请（专利权）人： | 江阴江化微电子材料股份有限公司;合肥京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 无锡坚恒专利代理事务所(普通合伙) 32348 | 代理人： | 杜兴 |
| 地址： | 214400 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光阻剥离液，光阻剥离液的主要组成为醇胺类化合物、醇醚类化合物、有机溶剂和齐聚物添加剂；齐聚物添加剂为选自聚乙二醇以及亲水基团封端的聚乙二醇、聚乙二醇醚、聚丙二醇、聚丙二醇醚中的一种或两种以上的组合，亲水基团为氨基或羧基。本发明光阻剥离液中的齐聚物添加剂分子呈链状，分子链中均匀分布有亲水基团，齐聚物添加剂参与修饰光阻短分子链，改善剥离液的水洗性能，降低基板残留，减少甚至杜绝鼓包、短路等缺陷，提高液晶面板良率。本发明还公开了一种基于上述光阻剥离液的剥离工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 剥离 工艺 | ||
【主权项】：
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