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- [发明专利]一种集成式混配系统-CN202310005754.5在审
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顾洪卫;刘海斌;浦陈龙;丁磊
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江阴江化微电子材料股份有限公司
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2023-01-04
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2023-05-02
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B01F33/40
- 本发明公开了一种集成式混配系统，包括混料罐和吨桶，所述混料罐与吨桶均设置于称重机构上，所述吨桶设有至少一个，吨桶通过进料管与混料罐相连接，所述进料管上设有进料控制阀；混料罐上设有用于监测内部混料温度的温度传感器，混料罐上还设有冷却机构，冷却机构包括冷源进入阀和冷源流出阀，还包括控制模块，所述称重机构与温度传感器作为控制模块的信号输入，控制模块以信号输入为依据控制进料控制阀以及冷源进入阀、冷源流出阀的开度。本装置直接通过称重机构对吨桶和混料罐的重量进行称重，可以直接并且准确的计算各种物料的进料量。采用大阀和小阀并联设置，进料前期可以开大阀，进料后期通过小阀进料，可精准控制进料。
- 一种集成式混配系统
- [实用新型]一种铜蚀刻液的上料系统-CN202022897051.2有效
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浦陈龙;丁磊;顾维达;顾洪卫;顾维忠;朱永刚
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四川江化微电子材料有限公司
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2020-12-03
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2021-11-23
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B01F15/04
- 本实用新型公开了一种铜蚀刻液的上料系统，包括若干原料储存罐、若干上料罐和混合罐，混合罐的出口通过管路依次连接第一磁力泵、过滤装置和成品罐；所述混合罐的罐体侧边设有称量模块；若干所述上料罐的出口分别通过并联的管路与混合罐的入口连接，若干所述原料储存罐的出口分别通过管路与一一对应的上料罐的入口连接，所述上料罐的下端分别设有电子U形称。本实用新型的上料罐和混合罐之间具有单独进料的管路，减少了共用原料进料管路对下一个原料进料精度的影响；并且在混合罐上还设有用于校对的称量模块，进一步控制了各组分原料的进料精度和总进料量的控制和监控，进一步提高了铜蚀刻液的生产效率和品质。
- 一种蚀刻系统
- [发明专利]一种硫酸滤芯润湿工艺-CN201811533494.4有效
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浦陈龙;朱永刚;顾玲燕;丁磊;周锡军;坎勇
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江阴江化微电子材料股份有限公司
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2018-12-14
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2021-03-02
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B01D67/00
- 本发明公开了一种硫酸滤芯润湿工艺，包括清除残水、安装滤芯、配置滤芯润湿溶液、滤芯润湿、冲洗、后处理、取样检测、小试工序。本发明提供的硫酸滤芯润湿工艺，在滤芯润湿工序中对残留润湿溶液进行检测后再进行纯水冲洗，保证滤芯内无润湿溶液残留，避免残留润湿溶液对硫酸产品的污染；将滤芯内的纯水排空，然后采用氮气吹扫滤芯至肉眼观察无液滴流出，减少后续对滤芯内残留纯水处理的压力，后续再通过梯度浓度的硫酸溶液对滤芯进行循环浸泡、冲洗处理，使滤芯内残存纯水先与低浓度硫酸溶液进行反应再与高浓度硫酸溶液进行反应，降低反应的剧烈程度，避免一次反应产生巨大的热量，导致滤膜形变孔径增大，从而降低滤芯拦截小颗粒的过滤能力。
- 一种硫酸润湿工艺
- [发明专利]一种电子级盐酸生产方法-CN201811600704.7有效
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坎勇;朱永刚;顾玲燕;丁磊;周锡军;浦陈龙
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江阴江化微电子材料股份有限公司
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2018-12-26
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2021-01-15
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C01B7/07
- 本发明公开了一种电子级盐酸生产方法，包括以下步骤：以工业级盐酸为原料，通过再沸器加热形成的盐酸蒸汽进入精馏塔内，精馏塔的塔釜采用高硼硅玻璃材质，塔体通体采用PVDF材质，在精馏塔内形成盐酸恒沸物之前，反复精馏得到气相轻组分，气相轻组分从精馏塔的塔体顶部溢出、经通体PVDF材质的管道进入通体采用PVDF材质的吸收塔中，同时用超纯水吸收气相轻组分形成高纯盐酸溶液,高纯盐酸溶液从吸收塔塔底流出，依次经过吸收罐、循环泵回流到吸收塔内，反复吸收直至吸收罐内的高纯盐酸溶液浓度达37％以上，得到高纯的电子级盐酸成品。本发明生产方法不会对盐酸成品产生二次污染，纯度高，系统稳定性高，盐酸成品浓度控制简单。
- 一种电子盐酸生产方法
- [发明专利]一种酸性铜蚀刻液的生产工艺-CN202010053813.2在审
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浦陈龙;顾维忠;顾洪卫;朱永刚;顾维达
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江阴江化微电子材料股份有限公司
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2020-01-17
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2020-06-16
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C23F1/18
- 本发明公开了一种酸性铜蚀刻液的生产工艺，所述工艺包括以下步骤：第一步：将纯水进行低温处理，使纯水温度≤10℃在纯水罐中备用；第二步：配制和准备原料，将亚氨基二乙酸、氢氟酸和乙醇酸分别投入对应的原料罐中，经过过滤器循环过滤，备用；将HNO3、四甲基氢氧化铵、H2O2分别投入对应的原料罐，备用；第三步：根据混酸配制表算出各个原料的添加量，按照纯水→亚氨基二乙酸→氢氟酸→HNO3→四甲基氢氧化铵→乙醇酸的顺序依次将原料加入调配罐，将上述混料充分搅拌，搅拌时间为3～5h；第四步：在第三步的混料中再添加H2O2，继续搅拌混匀，搅拌时间为3～5h，用磁力泵将混合液通过过滤器循环过滤。本发明提供的铜蚀刻液大规模量产工艺，温控严格，生产过程中安全性高。
- 一种酸性蚀刻生产工艺
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