[发明专利]一种喷涂装置及喷涂方法在审
申请号: | 202110851554.2 | 申请日: | 2021-07-27 |
公开(公告)号: | CN115672597A | 公开(公告)日: | 2023-02-03 |
发明(设计)人: | 孙飞;汪鹏 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
主分类号: | B05B9/047 | 分类号: | B05B9/047;B05B9/03;B05B12/02;B05B12/08;B05B15/00;B05D1/02;B01D19/00 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 张竞存;张颖玲 |
地址: | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本申请实施例公开了一种喷涂装置和喷涂方法,所述喷涂装置包括:储料仓,用于盛放喷涂材料;排气压缩单元,用于排出所述储料仓中的气体,并压缩所述储料仓的容积使存储于所述储料仓中的所述喷涂材料进入输料单元;所述输料单元,用于输送所述喷涂材料至使用端。 | ||
搜索关键词: | 一种 喷涂 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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