[发明专利]一种新型集成气体传感器的制备实现方法在审
| 申请号： | 202110824434.3 | 申请日： | 2021-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN113607775A | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 汪民;许玉方 | 申请（专利权）人： | 广州德芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 北京广技专利代理事务所(特殊普通合伙) 11842 | 代理人： | 张国香 |
| 地址： | 510000 广东省广州市番禺区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种新型集成气体传感器的制备实现方法，包括：步骤1：对基底进行清洗、烘干以及溅射处理；步骤2：光刻获取电极图案，并物理沉积到基底上；步骤3：基于沉积后的基底构建网状分布层；步骤4：基于网状分布层，并采用压力可控方式，控制制作温度以及制作材料量，进而制作出由添加贵金属后构成的第一薄膜以及在第一薄膜上由金属氧化物构成的第二薄膜；步骤5：去除网状分布层，并对第一薄膜和第二薄膜进行退火处理，得到新型集成气体传感器，并进行合格验证，进而输出显示。通过构建网状分布层以及采用压力可控的方式，制备传感器，提高其的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 集成 气体 传感器 制备 实现 方法 | ||
【主权项】：
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