[发明专利]一种新型集成气体传感器的制备实现方法

权利要求书

1.一种新型集成气体传感器的制备实现方法，其特征在于，包括：

步骤1：对基底进行清洗、烘干以及溅射处理；

步骤2：光刻获取电极图案，并物理沉积到基底上；

步骤3：基于沉积后的基底构建网状分布层；

步骤4：基于所述网状分布层，并采用压力可控方式，控制制作温度以及制作材料量，进而制作出由添加贵金属后构成的第一薄膜以及在所述第一薄膜上由金属氧化物构成的第二薄膜；

步骤5：去除所述网状分布层，并对所述第一薄膜和第二薄膜进行退火处理，得到新型集成气体传感器，并进行合格验证，进而输出显示。

2.如权利要求1所述的新型集成气体传感器的制备实现方法，其特征在于，

所述贵金属为Au、Ag、Pt、Pd、Rh、Ru、Os、Ir中的一种或多种；

所述金属氧化物为SnO_x、ZnO_x和InO_x中的一种或多种。

3.如权利要求1所述的新型集成气体传感器的制备实现方法，其特征在于，步骤1：对基底进行清洗、烘干以及溅射处理之前，还包括：

当对基底进行清洗之前，捕捉机器的当前动作，并对所述当前动作进行分解，判断分解动作个数与标准动作个数是否一致；

若一致，根据如下公式，计算所述当前动作的动作触发值X1；

其中，X1表示分解动作个数与标准动作个数一致时的动作触发值；n1表示一致时，对应的分解动作个数；n2表示标准动作个数，且n1＝n2；f1(D_i,D_j)表示分解动作个数与标准动作个数一致时，对应的第i个分解动作D_i与第j个标准动作D_j的一致结果，若第i个分解动作D_i与第j个标准动作D_j一致，取值为1，否则，取值为0；

若不一致，根据如下公式，计算所述当前动作的动作触发值X2；

其中，X2表示分解动作个数与标准动作个数不一致时的动作触发值；n表示分解动作个数与标准动作个数不一致时，对应的分解动作的个数，此时，n≠n2；f2(D_i,D_j)表示分解动作个数与标准动作个数不一致时，对应的第i个分解动作D_i与第j个标准动作D_j的一致结果，若第i个分解动作D_i与第j个标准动作D_j一致，取值为1，否则，取值为0；N1表示分解动作个数与标准动作个数不一致,且nn2时，对应分解动作中与标准动作一致的总个数；∝_i2表示动作一致时，对应的第i2个分解动作的动作权重值；N2表示分解动作个数与标准动作个数不一致，且n＜n2时，对应分解动作中与标准动作一致的总个数；∝_i3表示动作一致时，对应的第i3个分解动作的动作权重值；

如果所述动作触发值都大于对应的预设触发值时，触发监测所述清洗、烘干以及溅射处理的过程；

否则，继续对是否触发进行判断。