[发明专利]一种复合消色差波片相位延迟量测量装置和方法在审
| 申请号： | 202110821602.3 | 申请日： | 2021-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN113654996A | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 李伟奇;吴警政;张传维;刘亮;郭春付;杨康 | 申请（专利权）人： | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 刘桢 |
| 地址： | 201700 上海市青浦区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种复合消色差波片相位延迟量测量装置和方法，装置包括：沿设计光路依次设置的单波长光源、准直镜头、起偏器、检偏器、汇聚镜头以及能量检测组件；所述起偏器与检偏器之间设置有第一旋转机构；测量时，待测复合消色差波片与所述第一旋转机构固定连接，并与所述设计光路同光轴设置。本发明首先记录未放待测波片时出射能量值，然后将待测波片放置于透光轴方向相同的起偏器和检偏器中间，通过旋转待测波片测试出光能量的最大值与最小值，由此三个测量值推导得出待测波片相位延迟量与未放待测波片时出射光强、放置波片后出射能量最大值、最小值的对应关系，从而准确快速标定待测波片的相位延迟量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 色差 相位 延迟 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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