[发明专利]一种触觉传感器、压力测量装置以及制作方法

摘要

本发明实施例公开一种触觉传感器、压力测量装置以及制作方法。其中一具体实施方式的触觉传感器包括：第一基体，形成在所述第一基体的第一表面的凹陷部，所述凹陷部为正棱锥形凹陷；与所述第一基体相对设置的第二基体；设置在所述第二基体朝向所述第一表面一侧的凸起部，所述凸起部与所述凹陷部对应设置；位于所述凹陷部的多个侧面上的多个感测电极；位于所述第二基体靠近所述第一表面一侧的公共电极；以及位于所述感测电极和所述公共电极之间的压电层。本实施方式的触觉传感器能够同时测量待测外力的大小和方向的功能，有效提高触觉传感器的力测量性能，具有广泛的应用前景。