[发明专利]一种触觉传感器、压力测量装置以及制作方法

权利要求书

1.一种触觉传感器，其特征在于，包括：

第一基体，

形成在所述第一基体的第一表面的凹陷部，所述凹陷部为正棱锥形凹陷；

与所述第一基体相对设置的第二基体；

设置在所述第二基体朝向所述第一表面一侧的凸起部，所述凸起部与所述凹陷部对应设置；

位于所述凹陷部的多个侧面上的多个感测电极；

位于所述第二基体靠近所述第一表面一侧的公共电极；以及

位于所述感测电极和所述公共电极之间的压电层。

2.根据权利要求1所述的触觉传感器，其特征在于，

所述凹陷部为正三棱锥形凹陷，所述凹陷部的侧面互相垂直。

3.根据权利要求2所示的触觉传感器，其特征在于，所述凸起部为球面凸起，所述凹陷部的顶点落在所述第一基体上的投影与所述凸起部落在所述第一基体上的圆形投影的圆心重合。

4.根据权利要求2所述的触觉传感器，其特征在于，所述凸起部为正三棱锥形凸起，

所述凸起部的顶点落在所述第一基体上的投影与所述凹陷部的顶点落在所述第一基体上的投影重合；

所述凸起部的每一侧面分别与对应的所述凹陷部的侧面平行。

5.根据权利要求1所述的触觉传感器，其特征在于，所述第二基体为弹性材料制备。

6.根据权利要求1所述的触觉传感器，其特征在于，所述感测电极的形状相同，每一所述感测电极在对应的所述凹陷部的侧面上的位置相同，所述感测电极的面积小于所述凹陷部的侧面的面积。

7.根据权利要求1所述的触觉传感器，其特征在于，所述触觉传感器还包括位于所述第一表面上的分别电连接于所述多个感测电极的多个引出电极。

8.根据权利要求1～7所述的触觉传感器，其特征在于，所述感测电极与所述公共电极之间最小距离为20微米～100微米。

9.根据权利要求8所述的触觉传感器，其特征在于，所述压电材料为高分子材料；

所述凸起部的材料为硬质绝缘材料；

所述第一基体的材料为弹性材料。

10.一种压力测量装置，其特征在于，包括：

多个阵列排布的如权利要求1～9中任一项所述的触觉传感器，用于响应于待测外力，输出多个感测电极感测的所述压电层产生的对应于所述待测外力的分力的电信号；

控制单元，用于根据所述电信号确定所述待测外力的方向和数值。

11.一种制作如权利要求要求1～9中任一项所述触觉传感器的方法，其特征在于，所述方法包括：

图案化所述第一基体的第一表面形成所述凹陷部，所述凹陷部为正棱锥形凹陷；

在所述凹陷部的多个侧面上图案化形成多个感测电极；

在所述第一表面以及在所述凹陷部中形成压电层；

图案化所述第二基体上朝向所述第一表面一侧形成所述凸起部；

在所述第二基体靠近所述第一表面一侧形成公共电极；

对合所述第一基体和所述第二基体使得所述凸起部与所述凹陷部对应设置。